20世纪90年代以来，装配在扫描电子显微镜上的电子背散射花样技术取得了很大的发展，并且被广泛应用在材料的微观组织结构和微织构的表征。而该技术也被称为电子背散射衍射（EBSD-英文名：ElectronBackscatteredDiffraction）。

既然EBSD技术应用广泛，那么问题就来了，EBSD样品是如何制备的呢？EBSD样品的主要制备方法有：化学腐蚀，振动抛光以及电解抛光，其中化学腐蚀容易把样品中微小相腐蚀，导致实验结果不准确，振动抛光得有振动抛光仪器才行，而电解抛光操作简单方便，从而被广泛应用于EBSD样品的制备。

电解抛光原理：电解抛光是指金属在一定组成的抛光液中进行特殊的阳极处理，以获得平滑、光亮表面的过程。其抛光设备示意图如下图所示：

抛光过程：

（1）在烧杯中倒入电解抛光液（不同金属的电解抛光液体不同）；

（2）根据抛光金属的种类，调节抛光液的温度（调节温度可以通过添加液氮进行降温调节，或者水浴加热调节）；

（3）通过导线与电源连接好正负极（负极材料一般为不活泼金属）；

（4）把连接好的正负极放入烧杯中，按照上图连接成一个闭合回路，抛光样品接正级（如上图红色样品）；

（5）调节好电解抛光的参数-电源的电压和电流(不同金属的抛光参数不同)；

（5）打开电源进行电解抛光，根据抛光参数以及金属的类型选取合适的抛光时间（一般1-3分钟左右）；

（6）把电镜抛光完后的金属用清水和酒精进行清洗，然后吹干。

以上就是EBSD样品制备的方法过程，欢迎互相交流学习。