上海映智研磨材料有限公司

上海映智研磨材料有限公司是国内跨越的高周详研磨抛光收拾计划供应商和效劳商，为客户供应各式规格的抛光液、抛光垫以及化学机器抛光畛域关系的系列产物。抛光液、抛光垫宽广运用于半导体、蓝宝石、花费电子、陶瓷以及各式工件的化学机器抛光。公司倡导并主宰同意了国度《无纺布抛光垫行业准则》。

无纺布抛光垫

无纺布抛光垫是硅片、砷化镓、碳化硅、蓝宝石等半导体衬底的CMP加工制程中的关键耗材。由针织无纺布和水性聚氨酯树脂溶液复合而成。与保守工艺比拟，制备历程中不行使二甲基甲酰胺（DMF）、苯系物等有机溶剂，防止形成处境浑浊和强壮迫害；无需湿式凝结，防止呈现树脂交联水平变大，成型不平匀的题目；同时，采纳屡次浸渍和挤压的办法，抬高了浸渍平匀性。具备硬度小、收缩比大、弹性好、抛光成效褂讪等好处。

SiC晶体的高效率周详抛光液

用于第三代半导体碳化硅衬底的氧化铝基化学机器抛光液，已经过客户考证并慢慢确立产业化临盆。该展品呈酸性，个中的磨粒为自助合成的微米级α-氧化铝，完成了对氧化铝粒径、描写和表面状况的节制，具备催化活性，而且抬高氧化铝颗粒的分开性和悬浮性。经过对氧化铝颗粒的改性与碳化硅产生化学反响，抬高了该展品的去除速度和表面原料，下降成本与三废排放。

新材料财产展

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陈叶琪老师-

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