为什么抛光如此重要？抛光可去除研磨过程中造成的损伤，使样品为光学、显微硬度或SEM/EBSD分析做好准备。高质量抛光通过机械或化学-机械抛光让样品表面非常光滑，同时保留真实的微观结构和平整度。常见问题解决办法：1、划痕较多如果在细抛阶段划痕仍然较多，可能说明存在交叉污染。在进入下一道工序前冲洗样品、样品夹具和底盘有助于清除大的金刚石颗粒，减少交叉污染。如果样品有裂纹或多孔，应按照最低冲洗时间要求使用超声波清洗。超声波清洗时间过长可能损坏样品。在最终抛光的最后30秒，应停止添加抛光液，用水清洗抛光布表面和样品。2、浮凸浮凸是较硬的相或组元在比较软的基体上凸起的现象。减少抛光时间，使用短毛绒布，或者使用金刚石抛光膏代替抛光液，可以防止浮凸出现。3、磨料嵌入该现象是指较硬的颗粒嵌入在较软的材料裂纹或缝隙中。使用更为固定的磨料（例如MetaDi金刚石抛光膏）或在进入下一步前进行超声波清洁，可以减少嵌入发生的可能性。4、塑变塑变虽然发生在表面，但是非常严重的损伤，由于材料较软或润滑不良导致，使得无法看清微观组织结构细节。使用短绒毛抛光布、振动抛光或腐蚀后重新进行细抛，可以改善塑变问题。5、彗星拖尾彗星拖尾是硬质相在软基体中粘合不良时，从颗粒或孔隙中起源的单方向细槽。为避免此问题，应使用硬质无绒布和/或降低施加的压力。对于多孔材料，可使用树脂或蜡封堵孔隙。

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