抛光

研磨抛光机ATM半导体设备

发布时间:2024/10/8 19:14:06   

设备名称:研磨抛光机

商品编号:Z

制造商:弗尔德(ATM)

型号:Saphir

年份:年5月

设备尺寸(W×D×H):××mm

设备重量:约85kg

规格参数:概述

Saphir(Rubin)是新一代的单盘磨抛机,它采用创新的磨抛头,工作盘直径为-mm。、Rubin磨抛头配备了一个自动防护罩,为安全操作设定了新标准。单点力和中心力加载、程序存储、集成的自动加液系统及材料磨削量精确控制只是其部分功能。带气动夹持的电动高度设置功能,结合主机的所有其他特征,Saphir满足最高的制样需求。磨削深度可以按照0.01mm的精度预设,并在制样过程中全自动测量。在达到预设值时,制样过程会自动停止。

优点:带有Rubin的单盘研磨/抛光装置、单点力和中心力控制、磨盘速度和动力头速度可调、触摸屏式的电子控制、可储存程序、动力头可顺时针/逆时针旋转、高度和侧向位置记忆功能、确保安全的自动防护罩

性能指标:

1、工作盘:-mm

2、样品数量(单点):1-6个样品50mm

3、单点加载压力:可变,5-N

4、中心加载压力:可变,20-N

5、连接电源:3.2kVA

6、运行功率(基础):0.75kWS6/40%

7、运行功率(研磨控制头部分):0.17kWS1

8、转速(磨抛机):50-rpm

9、转速(研磨控制头部分):30-rpm

10、宽×高×深:×-×mm

11、重量:~85kg

12、水压:1x进水R"最大6bars



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