深圳第五届半导体展会、半导体材料展会。时间、地点

时间：年5月16-18日

地点：深圳国际会展中心

SEMI-e深圳国际半导体展将于年5月16日-18日在深圳国际会展中心（宝安新馆）强势登陆鹏城！本届展会以“芯机会?智未来〞为主题，展示以芯片设计及制造、集成电路、封测、材料及设备、5G新应用、新型显示的半导体产业链，现已成为华南区规模最大、半导体产业链最全、活动内容最丰富的颇具影响力的半导体行业盛会。

参展尹先生

上海汉虹精密机械有限公司

上海汉虹精密机械有限公司为Ferrotec集团的下属子公司，是一家以研发、生产和销售智能化精密机械装备为主的公司。自年成立以来，一直专注于半导体材料晶体生长与加工设备的研究与开发，提供成熟先进的电子级单晶炉、多款碳化硅晶体生长炉、数控研磨机、数控抛光机等半导体材料晶体生长及加工设备，并提供半导体相关部件、设备等OEM服务。

汉虹公司以提高企业技术开发能力和高新技术成果转化能力为目标，致力将公司打造成为具有国际竞争力的、专业的半导体材料晶体生长、晶体加工系统解决方案优质供应商。

产品介绍

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LPE碳化硅长晶炉

6~8英寸LPE碳化硅长晶炉(感应式/电阻式)

4~6英寸碳化硅长晶炉(感应式)

LPE法最大的优点在于扩径更容易、晶体长晶快、有机会生长出相较其他方法缺陷密度更少的晶体，并且生长温度也相较低，在更接近热力学平衡的条件下，对碳化硅晶型的控制也较好。技术特点：

①高真空：

腔体内壁经镜面抛光，减少气体附着；各表面严密结合，避免产生泄漏；大抽速泵体，实现快速抽空功能；高密封性阀体，实现长时间的真空保压。②高精密：

高精度数控加工部件；精密传动部件；高品质电控系统；实现运动系统的高精度控制，重复定位无偏差。③全自动：

自主开发系统，实现全自动过程；兼容各种工艺操作流程；操作权限分级，减少误动作；自主研发异地网络远程监控SiC操作系统?安全，可靠，便捷，实现无人值守远程控制。

可根据客户的工艺情况提供半定制化服务

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PVT碳化硅长晶炉

4~6英寸碳化硅长晶炉（感应式）

6~8英寸碳化硅长晶炉（感应式）

6~8英寸碳化硅长晶炉（电阻式）