现代超精密加工技术是从20世纪60年代开始研究和发展的.之前有许多高精度的光学零件（如天文望远镜的镜片等）则是通过传统的研磨抛光工艺进行加工。传统的光学系统因设计、计算和加工、制造技术所限，其结构和元件形状都较简单，光学元件面形通常为平面、球面传统的光学元件加工时，采用大数、无规则轨迹控制和均化效应等研磨抛光工艺，配合零件型面的检测，可获得良好的超精密加工效果。这里零件的加工精度依赖的是工艺方法，而不苛求加工机床本身的精度，低机械精度的加工机床仍可达到高的光学元件加工精度效果。由于采用上述加工工艺时，材料每次的去除量是不确定的，通常被称为“非确定性”超精密加工技术（见图1-6（a））。

非确定性超精密加工技术具有以下特点：①加工设备精度要求不高，只起到提供丁件或工具运动的作用；或者加丁过程完全是通过操作者的手工操作完成，操作者的工艺水平是工件最终的加工精度的关键因素之一。②加工去除量很小且不确定，需反复进行加工和测量工序，最终迭代完成加工，零件最终的加工精度完全取决于工件的测量精度③适合玻璃、陶瓷等硬脆材料及简单形状(球面、平面等)零件的加丁④加匸成本高、周期长，可达到较高的加匸精度。目前这种加丁-工艺仍然在一定场合得到应用，如高精度铸铁测量平板的刮研、花岗石平台的研磨、标准球的研磨等