据ETNEWS报道，三星电子宣布，已与半导体和显示设备合作伙伴FNS科技成功开发了化学机械抛光垫(CMP:ChemicalMechanicalPolishing：化学机械抛光)重复使用技术。

FNSTech一直根据三星电子的需求为半导体生产线提供CMP垫（后文直接采用：抛光垫）。

CMP即“化学机械抛光”，半导体器件通常要求达到纳米级的平整度，目前最好的工艺是用化学（液体）和机械（垫子）结合起来的方式。

在抛光这个工艺中，最重要的两种材料是抛光液和抛光垫。抛光消耗的成本占比大概就7%，却是半导体生产过程中重复次数最多的步骤，28纳米制程的芯片，全程要12次抛光。

现在芯片越来越小，到了10纳米制程，抛光要重复30次，用掉30多种不同的抛光液。抛光垫的寿命也极低，通常45-75小时，属于易耗品。

虽然目前供给量不大，但半导体加工中的关键材料抛光垫的再利用在世界上是首创的。三星电子内存制造技术中心的执行总监Jin-okMoon说：“三星电子正在使用大量抛光垫。随着CMP垫块的重复使用，这项技术的应用将节约更多的成本。”。

由于持续购买和处理抛光垫的成本，以及排放等环境问题，半导体行业对CMP的重复使用有着无尽的需求。仅三星电子(SamsungElectronics)一个月就使用了数万块抛光垫。

据了解，由三星电子和FNS科技开发的可重复使用抛光垫，与新产品相比，表现出近%的性能。三星电子和FNS科技(FNSTech)开发了可重复使用的抛光垫，将4个以前使用过的抛光垫分离，填充磨损的部件，并重新硬化到一定厚度。他们还申请了一项与可重复使用的抛光垫有关的联合专利。

通过引入可重复使用的抛光垫，三星电子可以显著降低工艺成本。它还被评价为通过重复使用必须焚烧的抛光垫对减少温室气体作出了贡献。根据FNSTech的环境评估，将三星电子30%的抛光垫垫使用替换为可重复使用的垫，可以减少50%的温室气体排放。

预计抛光垫行业的连锁反应也将是显著的。预计抛光垫市场的规模约为1万亿韩元（约合56亿元人民币），其中三星电子(SamsungElectronics)占据了相当大的份额。

目前在韩国使用的抛光垫中，70-80%为杜邦产品，依赖度很高。据分析，更换为可重复使用的抛光垫将对市场产生巨大的影响。