当前位置: 抛光 >> 抛光前景 >> 二手日本speedfam16b双面抛光机
本机主要用于硅片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面研磨。本机从设备的结构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计,性能优良,完全能满足用户的使用要求。()
主要技术参数
1.研磨盘尺寸(mm):φ×φ×50
2.游轮参数:英制:齿数Z=DP=12α=20°
公制:齿数Z=m=3α=20°
3.游轮数量:5片
4.修正轮数量:4片
5.最小研磨厚度:0.50mm/φ,0.40mm/φ,
0.35mm/φ75
6.研磨厚度:30mm
7.研磨直径及片数φ75/17片φ/8片φ/5片
8.研磨直径:φmm
9.下研磨盘转速:0~60rpm
10.主电机:11KwVrpm
11.三相电泵AB-250WL/min