抛光

二手日本speedfam16b双面抛光机

发布时间:2024/10/31 13:46:15   

本机主要用于硅片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面研磨。本机从设备的结构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计,性能优良,完全能满足用户的使用要求。()

主要技术参数

1.研磨盘尺寸(mm):φ×φ×50

2.游轮参数:英制:齿数Z=DP=12α=20°

公制:齿数Z=m=3α=20°

3.游轮数量:5片

4.修正轮数量:4片

5.最小研磨厚度:0.50mm/φ,0.40mm/φ,

0.35mm/φ75

6.研磨厚度:30mm

7.研磨直径及片数φ75/17片φ/8片φ/5片

8.研磨直径:φmm

9.下研磨盘转速:0~60rpm

10.主电机:11KwVrpm

11.三相电泵AB-250WL/min



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