在晶圆制造过程中，需要经过七大步骤，分别为扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光与金属化。其中，离子注入机便是为离子注入环节服务的关键设备。同光刻机、刻蚀机等一样，离子注入机拥有颇高的技术门槛，海外寡头垄断境况十分明显。据悉，美国应用材料、亚舍立占据了全球离子注入机领域，85%到90%的市场份额。而中国相关厂商，所占份额寥寥。不过，以凯世通为首的中国离子注入机厂商并没有停下追赶的步伐，一直在取得新的进步。年凯世通成立，由陈炯等五名全球一流的离子注入设备专家共同创立。陈炯是全球离子注入设备专家，他曾经创建过全球知名的离子注入设备厂商——AIBT，其团队研发出了两代大束流离子注入机。在年，陈炯同我国“02专项”调查组进行了深入交流，随后决定要回国，推动中国离子注入设备发展。于是在这一年，凯世通问世。经过多年来的发展，凯世通已经有了长足的进步，近两年来，凯世通从光伏行业的离子注入设备领域，逐渐迈向半导体领域。如今，凯世通已经成为全球唯一的全领域离子注入机供应商。年，凯世通被万业企业收购，收购价格高达3.98亿元。有万业企业作为背后支柱，凯世通发展更加迅猛。万业企业依靠房地产企业起步发家，近年来开始布局半导体领域。收购凯世通便是其迈向半导体的第一步。为推动公司发展，凯世通不断提高公司研发投入。万业企业三季度财报显示，与去年同期相比，公司离子注入机研发费用实现了46.02%的增长。公司商业化脚步明显加快。年，凯世通的IC离子注入机成功送入国内主要芯片制造厂商产线，并获得了不错的反馈。由此，凯世通的商业化进程再进一步。近来，凯世通又有好消息传来。近日万业企业发布公告称，凯世通拟向芯成科技出售3款12英寸离子注入机，交易额高达1亿元。这是凯世通第一个亿元的离子注入机订单。这表明，凯世通的产品进一步获得了市场的认可，未来可期。在国产替代潮、芯片潮的推动下，凯世通有望获得更好的成绩。凯世通的崛起，为国产离子注入机打破美国垄断带来了希望，更为国产光刻机的发展，树立了榜样。文/BU审核/子扬校正/知秋

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